據媒體報道，新松機器人宣稱擬募資18.03億元主要用于建設半導體領域半導體設備及自動化項目，用于IC真空機械手及集束型設備項目、半導體自動物料搬運系統(tǒng)項目、半導體物料管理控制系統(tǒng)項目以及補充流動資金。

　　作為國內僅有的一家真空機械手的供應商，去年機器人真空機械手已批量應用于北方華創(chuàng)(002371)、中科院微電子研究所等企業(yè)和機構，有望在國內全面推廣。

　　眾所周知，新松機器人成立于2000年，隸屬中國科學院，是中國第一家從事機器人產業(yè)化和實現機器人出口的企業(yè)。新松機器人產品線齊全，涵蓋工業(yè)機器人、潔凈機器人、移動機器人、特種機器人及智能服務機器人五大系列。

　　機器人進軍半導體行業(yè)是一種挑戰(zhàn)

　　半導體行業(yè)包括了眾多領域，在這些領域當中又有著很多復雜的工序，比如前期的晶體制造、中期的封裝集成，還有后期的組裝包裝、運輸等等。機器人進軍半導體行業(yè)既是一種挑戰(zhàn)也是一種趨勢，機器人本身需要具有易使用、性能靈活輕便，不僅要滿足無塵空間的等級要求，還要小心易碎的產品，對極為細微的器件需要高度精準地定位、放置和組裝。

　　半導體行業(yè)對工業(yè)機器人的要求十分嚴格，在真空環(huán)境下，要保證機器人的潔凈度，因為半導體產品的特殊性，還要求機器人防震，防抖動，靜音生產，能夠有精準到5mm的重復定位等等。

　　進軍半導體市場，抓住產業(yè)鏈遷移機遇

　　隨著半導體產業(yè)向中國大陸遷移，英特爾、三星等國際大廠陸續(xù)在我國大陸地區(qū)投資建廠，大陸對半導體領域自動化設備需求提升。

　　基于此，新松開始進軍半導體裝備領域：2009年、2011年新松開始承擔兩大國家集成電路“02專項“項目，加大了對半導體設備的研發(fā)；2018年，新松機器人開始設立半導體裝備BG，主要面向以芯片制造，面板制造為代表的泛半導體領域，提供設備與自動化解決方案。目前，新松已經成功研發(fā)了國內首臺具有獨立知識產權的新型雙臂大氣機械手，并且通過了終端用戶華創(chuàng)、中微等客戶驗證。

　　除了在產品開發(fā)上加大力度，新松在資本層面也采取了相應動作。2018年1月，新松以約6.4億元人民幣收購韓國半導體設備企業(yè)新盛旗下公司80%的股權。不難看出，通過這些舉措，新松希望在下一個行業(yè)爆發(fā)點來臨前搶占先機。

　　擬募資18億新建半導體設備

　　新松此次擬向特定對象發(fā)行股票的募集資金總額不超過18.03億元用于IC真空機械手及集束型設備項目、半導體自動物料搬運系統(tǒng)項目、半導體物料管理控制系統(tǒng)項目以及補充流動資金。

　　此前新松已研制了系列化潔凈真空機器人產品，包括大氣機械手系列產品(潔凈度達到Class1)、集成電路裝備真空機械手系列產品(真空度達到最高1×10-6Pa)。真空直驅機器人打破國外壟斷，可以實現直接替代；自動物料搬運系統(tǒng)(AMHS)系統(tǒng)設備主要包括潔凈存儲系統(tǒng)(Stocker)、潔凈軌道系統(tǒng)、空中無人搬運車(OHT)等，公示可以為半導體工廠提供整套自動物料搬運系統(tǒng)；而新松承接的廣州超視堺Mask搬送系統(tǒng)項目，其中也包含ACS系統(tǒng)(類似MCS的系統(tǒng)，規(guī)模要比MCS系統(tǒng)規(guī)模小)的子訂單，具有先天優(yōu)勢。

　　上述三個項目建成后，年預計可實現年均營業(yè)收入約10.05億元、11.90億元、1.8億元，合計達到23.75億元。而去年公司全年營收27.45億元，此次擴產項目若達成目標將增加營收85%。

　　機器人將半導體裝備業(yè)務確定為三大業(yè)務板塊之一，2018年5月，公司集中整合資源成立半導體裝備事業(yè)部，完善在集成電路設備自動化與自動物料搬運系統(tǒng)(AMHS)產業(yè)的布局，潔凈真空機器人、潔凈自動化裝備、自動物料搬運系統(tǒng)(AMHS)是公司自主研發(fā)的面向集成電路行業(yè)高端的成套裝備，半導體物料管理控制系統(tǒng)(MCS)產業(yè)化是公司拓展的新業(yè)務。

　　應用半導體，新松已走在前列

　　目前新松研發(fā)的真空機械手已批量應用于北方華創(chuàng)、中科院微電子研究所等企業(yè)。集束型設備行業(yè)應用涵蓋半導體CMP清洗設備、半導體刻蝕設備、半導體涂膠設備等，且實現小批量示范應用；半導體自動搬運系統(tǒng)(AMHS)已經實現在上海集成電路研發(fā)中心生產線上的應用，并成功應用于Sandisk、賽意法等半導體芯片加工廠，面向面板制造廠開發(fā)的掩模版自動物料搬運系統(tǒng)，已經在華星光電T1、T7工廠及夏普廣州廠實現成熟應用。

　　2012年以來，國內半導體設備需求迅猛增長，中國是全球第二大半導體設備市場，2018年達到131.10億美元，但國產設備自給率很低，僅為13%左右。未來即便核心半導體設備依然依靠進口，半導體設備國產化空間仍然巨大。并且半導體工廠自動化對工廠的稼動率非常重要，全球該市場的年采購額在20億美金左右，由于國外對中國半導體產業(yè)的封鎖，國內半導體產業(yè)對于自動物料搬運系統(tǒng)(AMHS)需求迫切。

　　而新松是國內唯一一家真空機械手的供應商，而新松自主研發(fā)的面向半導體行業(yè)的高端裝備自動物料搬運系統(tǒng)(AMHS)已經形成了獨立產品線，可以逐步實現國產化替代。

　　潔凈(真空)機器人及半導體裝備作為新松公司的核心業(yè)務之一，現已形成大氣機械手、真空機械手、EFEM、真空平臺、STOCKER和AMHS系統(tǒng)多個產品線。潔凈產品客戶現已遍及大陸以及臺灣地區(qū)。

　　目前，新松潔凈機器人已徹底打破國外同類企業(yè)在半導體領域的壟斷局面，擁有國內市場50%以上份額。

　　新松復合機器人基于移動機器人和工業(yè)機器人系統(tǒng)的創(chuàng)新融合，綜合視覺補償、力覺控制、碰撞保護和主動導航等技術，可快速布局自動化工廠，適應高柔性化生產模式，主要應用于半導體封裝測試環(huán)節(jié)，可滿足FOUP，CST，MGZ在各機臺間的自動運輸，終端定位精度可達±0.05mm，CLASS100潔凈度，能為半導體生產應用提供最優(yōu)的系統(tǒng)解決方案。