氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的原理及特點(diǎn)
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是一種集成了直驅(qū)電機(jī)、編碼器、采用氣浮軸承來(lái)實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的產(chǎn)品。它通過(guò)向軸承腔體輸入壓縮空氣,由節(jié)流高壓空氣產(chǎn)生的氣膜將工件支撐起來(lái),氣膜具有一定剛性及負(fù)載能力,從而支撐轉(zhuǎn)臺(tái)臺(tái)面懸浮及旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),同時(shí)保障軸系的軸向、徑向跳動(dòng)精度。相比于傳統(tǒng)的機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái),它具有更高的穩(wěn)定性和更精確的定位精度。
以下是某種氣浮軸承的原理示意圖。通過(guò)外部氣源供給壓力,氣體經(jīng)過(guò)節(jié)流器進(jìn)入軸承間隙,然后連續(xù)地從軸承外緣排入大氣。
雅科貝思?xì)飧∞D(zhuǎn)臺(tái)
雅科貝思已推出標(biāo)準(zhǔn)品AAR200-A氣浮轉(zhuǎn)臺(tái),臺(tái)面直徑為200mm,總高度90mm。其“矮胖”的身材可以有效降低系統(tǒng)的高度,并且盡可能減少堆疊誤差,中孔設(shè)計(jì)方便線纜或真空管道通過(guò)。
經(jīng)過(guò)測(cè)試該轉(zhuǎn)臺(tái)具有低速度波動(dòng),優(yōu)秀的軸系回轉(zhuǎn)精度以及非常好的的定位精度。
雅科貝思?xì)飧∞D(zhuǎn)臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)與應(yīng)用場(chǎng)景
01、采用氣體靜壓氣浮技術(shù),和動(dòng)壓技術(shù)比,它承載力和剛度更大,穩(wěn)定性更易控制。
02、氣浮軸承的氣體粘度低、摩阻低、振動(dòng)噪音小。
03、氣浮軸承無(wú)需潤(rùn)滑油,實(shí)現(xiàn)了免維護(hù),并且 清潔無(wú)污染、壽命久。
04、氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)通常采用無(wú)鐵芯直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī),因此無(wú)齒槽效應(yīng),能實(shí)現(xiàn)高定位精度、運(yùn)行阻尼小、高速度穩(wěn)定性等特點(diǎn)。
05、軸系的軸向和徑向回轉(zhuǎn)精度可達(dá)到納米級(jí)別,同時(shí)具有非常優(yōu)秀的絕對(duì)定位精度和重復(fù)定位精度。
應(yīng)用場(chǎng)景:
光 學(xué)
光學(xué)檢測(cè)、光通信、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)、激光精密加工
測(cè) 量
三坐標(biāo)檢測(cè)儀、測(cè)角儀、柱狀體三維形貌檢測(cè)、偏心儀、圓度儀
裝 配
精密同心裝配、裝夾
晶圓檢測(cè)、晶圓對(duì)準(zhǔn)、研磨機(jī)/減薄機(jī)
其 他
科研院校
針對(duì)不同應(yīng)用領(lǐng)域和客戶需求,我們還將陸續(xù)推出其他標(biāo)準(zhǔn)型號(hào),同時(shí)也可接受客戶定制需求。
高精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)以其高穩(wěn)定性、高精度、低維護(hù)等優(yōu)點(diǎn),正成為精密測(cè)量和精密加工領(lǐng)域的重要選擇。雅科貝思?xì)飧∞D(zhuǎn)臺(tái)更是憑借其卓越的性能和應(yīng)用廣泛的標(biāo)準(zhǔn)品以及靈活的定制服務(wù),贏得了客戶的廣泛認(rèn)可。
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