“傳感智慧â€â€”—傳感器之發(fÄ)展
å‚³æ„Ÿå™¨çš„ç ”ç©¶å·¥ä½œä¸€ç›´åœ¨å‘æ–°çš„使¸¬é‡å’Œé«˜å¯é 性ã€é«˜ç²¾åº¦ã€å°åž‹åŒ–ã€ä½Žæˆæœ¬ç‰ç›®æ¨™ç™¼(fÄ)展。近年來由于åŠå°Žé«”技術已進人了超大è¦(guÄ«)模集æˆåŒ–時代,å„ç¨®åˆ¶é€ å·¥è—å’Œææ–™æ€§èƒ½çš„ç ”ç©¶å·²é”到相當高的水平,這為傳感器的發(fÄ)展創(chuà ng)é€ äº†æ¥µç‚ºæœ‰åˆ©çš„æ¢ä»¶ã€‚傳感器發(fÄ)展動å‘總體來說有以下5個方é¢ã€‚
傳感器采用新原ç†
新原ç†çš„采用往往給傳感器的發(fÄ)展帶來本質的飛èºã€‚æ£æ˜¯ç”±äºŽæ–°çš„ç†è«–䏿–·ç”¢ç”Ÿï¼Œä¿ƒé€²äº†æ–°çš„ç¨®é¡žçš„å‚³æ„Ÿå™¨ä¸æ–·æ¶Œç¾ã€‚ä¾‹å¦‚ï¼Œä¸€ç¨®åŸºäºŽç´„ç‘Ÿå¤«éœæ•ˆæ‡‰çš„紅外探測器,å°å…‰é€šä¿¡å¸¶ä¾†æ¥µå¤§æ–¹ä¾¿ã€‚
傳感器的智能化
æ™ºèƒ½å‚³æ„Ÿå™¨ä¸€èˆ¬æ˜¯æŒ‡é›†æˆæœ‰å¾½åž‹è¨ˆç®—機的傳感器,具有信æ¯è™•ç†ã€é‡ç¨‹è½‰æ›ã€èª¤å·®ä¿®æ£ã€å饋控制ã€è‡ªè¨ºæ–·åŠå…¶ä»–有關“智能”功能。
智能傳感器首先檢測å°è±¡çš„物ç†é‡ï¼Œå¹¶å°‡å…¶è½‰æ›æˆé›»ä¿¡è™Ÿ(這是一般傳感器å¯é”到的功能)ï¼ŒåŒæ™‚é‚„å¿…é ˆè¨˜æ†¶ã€å˜å„²æ•¸æ“šï¼Œé€²è€Œè§£æžå’Œå°é€™äº›æ•¸æ“šåšå‡ºçµ±è¨ˆè™•ç†ï¼Œæœ€åŽå†è®Šæ›æˆæ‰€è—‰è¦çš„æ•¸æ“šå½¢å¼è€Œä½œç‚ºæœ‰ç”¨ä¿¡æ¯è¼¸å‡ºã€‚將傳感器功能ã€é‚輯功能ã€å˜å„²åŠŸèƒ½ç‰ç«‹é«”地集æˆäºŽåŒä¸€åŠå°Žé«”èŠ¯ç‰‡ä¸Šï¼Œé€™æ£æ˜¯æœªä¾†çš„æ™ºèƒ½å‚³æ„Ÿå™¨ã€‚
傳感器的集æˆåŒ–和多功能化
éš¨è‘—å‚³æ„Ÿå™¨æ‡‰ç”¨é ˜åŸŽä¸æ–·æ“´å¤§ï¼Œå€ŸåŠ©åŠå°Žé«”çš„è’¸éæŠ€è¡“ã€æ“´æ•£æŠ€è¡“ã€å…‰åˆ»æŠ€è¡“ã€ç²¾å¯†ç´°å¾®åŠ å·¥åŠçµ„è£æŠ€è¡“ç‰ï¼Œä½¿å‚³æ„Ÿå™¨å¾žå–®å€‹å…ƒä»¶ï¼Œå–®ä¸€åŠŸèƒ½å‘集æˆåŒ–和多功能化方å‘發(fÄ)展。
集æˆåŒ–ä¸»è¦æ˜¯æŒ‡å°‡å‚³æ„Ÿå…ƒä»¶ã€ä¿¡æ¯è™•ç†æˆ–轉æ›å–®å…ƒä»¥åŠé›»ç¡¯ç‰éƒ¨åˆ†ï¼Œé›†æˆåœ¨åŒä¸€èŠ¯ç‰‡ä¸Šï¼Œå¦‚é›†æˆå£“力傳感器ã€é›†æˆæº«åº¦å‚³æ„Ÿå™¨ç‰ã€‚å¤šåŠŸèƒ½åŒ–æ˜¯æŒ‡ä¸€å¡ŠèŠ¯ç‰‡å…·æœ‰å¤šç¨®åƒæ•¸çš„æª¢æ¸¬åŠŸèƒ½ï¼Œå³ä¸€æ¬¡å¯æ¸¬é‡è¨±å¤šä¿¡æ¯ï¼Œå¦‚åŠå°Žé«”溫度濕æ•傳感器和多功能氣體傳感器ç‰ã€‚
ç›®å‰å…ˆé€²çš„固態(tà i)å‚³æ„Ÿå™¨ï¼Œåœ¨ä¸€å¡ŠèŠ¯ç‰‡ä¸Šèƒ½åŒæ™‚集æˆå·®å£“ã€éœå£“ã€æº«åº¦ä¸‰å€‹å‚³æ„Ÿå™¨ï¼Œä½¿å·®å£“傳感器具有溫度和壓力補償功能。
傳感器的固態(tà i)化和å°åž‹åŒ–
çµæ§‹åž‹å‚³æ„Ÿå™¨ç™¼(fÄ)展得較早,目å‰å·²è¶¨äºŽæˆç†Ÿã€‚å®ƒçš„æª¢æ¸¬åŽŸç†æ˜Žç¢ºï¼Œå—ç’°(huán)境影響å°ï¼Œä½†ä¸€èˆ¬ä¾†èªªå®ƒçš„çµæ§‹å¾©é›œã€é«”ç©å大ã€åƒ¹æ ¼å高。物性型傳感器與之幾乎相å,具有ä¸å°‘誘人的優(yÅu)點,世界å„國在開發(fÄ)物性型傳感器方é¢ï¼Œéƒ½æŠ•人了大é‡äººåŠ›ç‰©åŠ›ï¼ŒåŠ å¼·ç ”ç©¶ï¼Œç›®å‰ç™¼(fÄ)展很快。
物性型傳感器åˆç¨±å›ºæ…‹(tà i)傳感器,它包括åŠå°Žé«”ã€é›»ä»‹è³ªå’Œå¼·ç£é«”三類。其ä¸åŠå°Žé«”傳感器的發(fÄ)展最引人注目,它ä¸åƒ…éˆæ•度高ã€éŸ¿æ‡‰é€Ÿåº¦å¿«ï¼Œè€Œä¸”å°åž‹åŒ–。
與傳感器é…用的電路å¯ä»¥åšåœ¨åŠå°Žé«”傳感器的硅片上,并且在電路內進行傳感器的溫度補償和éžç·šæ€§è£œå„Ÿï¼Œå¾žè€Œä½¿å‚³æ„Ÿå™¨çš„精度也得到æé«˜ã€‚采用的單å“硅和多晶硅壓力傳感器就是典型的例å。
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20世紀80年代工æ¥(yè)生產已進人電腦自動控制時代,å„ç¨®å„æ¨£çš„æ©Ÿå™¨äººå¤§é‡å•世,而作為感覺器官的傳感器相å°é€²å±•比較慢,使電腦機器人的使用å—到很大程度的é™åˆ¶ã€‚
ç›®å‰ä¸–界å„åœ‹å¤§åŠ›ç ”ç©¶ç”Ÿç‰©é«”æ„Ÿè¦ºå™¨å®˜çš„æ©Ÿç†ï¼Œä»¿åˆ¶äººçš„æ„Ÿè¦ºå™¨å®˜ï¼Œå› æ¤ä»¿ç”Ÿå‚³æ„Ÿå™¨ä¹Ÿå°±æˆç‚ºå‚³æ„Ÿå™¨çš„發(fÄ)展方å‘之一。