德國半導體廠商英飛凌(Infineon)在2016年收購荷蘭半導體設計公司Innoluce并取得其所研發微型雷射掃描技術后，目前正在開發采用微機電系統(MEMS)的光達(LiDAR)芯片，可望降低光達系統與自駕車的成本。
據NextBigFuture網站報導，這個元件是由一個大小僅3x4公厘的矽基固態MEMS橢圓形反射鏡組成，并與使用電共振的致動器連結，以左右擺動方式改變反射光的方向。英飛凌表示，這種方式可以完全發揮雷射的掃描功能，不像快閃(flash-based)系統中的光會分散。車用感測與控制部門主管RalfBornefeld表示，MEMS光達每秒可掃描高達5,000個資料點，掃描范圍為250公尺。
雖然裝有活動式的反射鏡，Bornefeld認為這顆芯片與其它矽芯片一樣堅固可靠。預計一旦這顆MEMS光達芯片進入量產，并可以安裝在擋風玻璃上時，成本可望降至250美元以下。除了輔助汽車自動駕駛，這種微型光達也可以應用在機器人和無人機等領域。
Bornefeld表示，許多工程師都看好未來的自駕車將會采用多個迷你光達、雷達、超音波傳感器和數碼相機系統。這是因為每種傳感器系統有其優缺點，如果將這些系統加以集成，將可確保自駕車行駛時的安全。
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