華盛頓提出的限制將擴大現有的向中國出售最先進系統的暫停期限,以阻止中國成為世界芯片生產領導者的計劃。如果荷蘭同意,這將大大擴大現在禁止進入中國的芯片制造設備的范圍和類別,這可能對從中國芯片制造商造成嚴重打擊。
知情人士說,美國官員正在游說荷蘭同行,禁止 ASML 出售其一些較舊的深紫外光刻( deep ultraviolet lithography:DUV) 系統。這些機器比尖端技術落后一代,但仍然是制造汽車、電話、計算機甚至機器人所需的某些不太先進的芯片的最常用方法。
在彭博發布初步報告后,ASML 的美國存托憑證將跌幅擴大至 8.3%,這是自 2020 年 3 月以來的最大盤中跌幅。
知情人士表示,該問題是在美國商務部副部長Don Graves于 5 月下旬和 6 月初訪問荷蘭和比利時討論供應鏈問題期間出現的。由于討論是私下進行的,這些知情人士要求不具名。在那次訪問中,Graves 還參觀了ASML 在 Veldhoven 的總部,并會見了該公司的首席執行官 Peter Wennink。
知情人士說,荷蘭尚未同意對 ASML 向中國芯片制造商出口的任何額外限制,這可能會損害該國與中國的貿易關系。由于無法從荷蘭獲得出口許可證,ASML 已經無法將其最先進的極紫外光刻系統(每臺成本約 1.6 億歐元(1.64 億美元))運往中國。
美國對 ASML 的推動正值美國總統喬·拜登單獨考慮放寬特朗普時代對來自中國的消費品征收的一些關稅之際。盡管在兩國關系緊張之際,中國可能會歡迎這樣的舉動,但拜登政府仍在繼續其前任限制中國獲得美國技術的努力。
美國商務部和荷蘭外交部拒絕置評。
“討論并不新鮮。沒有做出任何決定,我們不想猜測或評論謠言,”ASML 發言人說。
ASML 是世界上最大的光刻系統制造商,這些機器在半導體制造過程中執行關鍵步驟。ASML 在此類設備市場上的主導地位意味著,進一步切斷中國對其產品的獲取將破壞這個亞洲國家在關鍵電子元件生產方面更加自給自足的雄心。
“中國在全球芯片設備市場的份額微不足道,”總部位于亞洲的Hinrich Foundation研究員Alex Capri)說,他將芯片生產描述為中國擴大半導體實力計劃的“瓶頸”。
老一代機器 DUV 的能力不如更先進的 EUV 光刻設備,但在制造目前嚴重短缺的許多類型的芯片中仍然不可或缺。知情人士說,華盛頓的重點是禁止銷售最先進的 DUV 技術,即浸沒式光刻機。
其中一位知情人士說,美國官員還試圖向日本施加壓力,要求其停止向中國芯片制造商提供相同的技術。日本尼康公司在這方面與 ASML 競爭。
浸沒式光刻也稱為氟化氬浸沒,或簡稱 ArFi。根據中國方正證券的數據,ASML 在 2021 年售出了 81 臺 ArFi 系統,而尼康售出了 4 臺,這家荷蘭公司占據了 95% 的市場份額。
荷蘭首相馬克·呂特6 月表示,他反對重新考慮與中國的貿易關系,并呼吁歐盟制定自己的對華政策。中國是荷蘭僅次于德國和比利時的第三大貿易伙伴。
文寧克今年早些時候表示,ASML反對禁止向中國客戶銷售 DUV 光刻設備,因為它已經是一項成熟的技術。根據彭博匯編的公司披露和數據,由國內或外國公司運營的中國的設施占 ASML 2021 年總收入的 14.7% 。
ASML 還指控該國政府支持的一家中國科技公司可能侵犯知識產權。
美國阻止芯片制造設備出口的努力始于特朗普政府。華盛頓向荷蘭政府施壓,要求其阻止EUV 光刻系統的銷售,這些系統是生產最復雜的半導體所必需的,并且 ASML 擁有壟斷地位。
出于國家安全考慮,包括應用材料公司和林研究公司在內的美國主要芯片設備制造商已經被禁止向中過晶圓廠銷售某些先進產品。潛在的 DUV 禁令可能會進一步打擊中國晶圓廠。
“光刻設備是中國在半導體生產方面最難更換的設備,”臺灣經濟研究所分析師 Johnson Wang 表示。“如果沒有國外的深紫外光刻設備,中國芯片產業的發展可能會停滯不前。”