近日，浙江嘉興南湖高新區微電子產業又添一員“猛將”，由半導體行業資深人士張汝京博士負責，總投資30億元的光罩材料產業鏈項目正式簽約落地嘉興科技城(南湖高新區)。

　　項目計劃于今年9月啟動，2023年4月第一條生產線試生產，2024年1月正式投產，2026年1月達產。

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　　張汝京二投光罩廠

　　據“南湖晚報”報道，該項目總投資30億元，首期投資11億元，將落戶于南湖高新區集成電路產業園。

　　項目主要從事光罩材料產業鏈相關產品的研發制造，產品包括高平整度石英基板、鍍膜基板(含二元及相位移的)、保護膜等光罩產業鏈上游“卡脖子”的原材料。

　　值得一提的是，這并非張汝京建設的首座光罩廠。2018年，由張汝京博士主導了青島芯恩集成電路產業項目。

　　據悉，該項目總投資約150億元，其中一期總投資約78億元，新建8英寸和12英寸集成電路生產線，光掩膜版生產線，芯片測試廠。2021年8月，青島芯恩正式宣布8英寸廠投片成功，光罩廠也于同期完成了產品交付。

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　　光罩市場集中度高

　　光罩也稱為光掩模版，主要應用于平板顯示、半導體、觸控和電路板的制造過程，在IC制造過程中，其作用是將設計好的電路進行顯影，將圖形投影在晶圓上，利用光刻技術進行蝕刻，是半導體光刻工藝中所需的高精密工具。

　　當前，在5G、人工智能、物聯網等產業快速壯大的拉動下，全球半導體市場蓬勃發展，光罩作為芯片的關鍵原材料，市場需求正不斷上升。

　　從全球范圍來看，目前掩膜版行業主要系國際廠商，有日本的SKE、HOYA、DNP、Toppan、韓國的LG-IT、美國的福尼克斯、中國臺灣的臺灣光罩等，行業集中度高。

　　總體來看，由于行業技術門檻較高，且國內產業起步較晚，掩膜版行業已經形成了美日韓企業壟斷的市場格局，國內光罩材料產業鏈部分產品依賴進口。

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　　解決半導體材料“卡脖子”問題

　　盡管目前我國國產半導體芯片掩膜版制造能力還較為薄弱，掩膜版仍依賴海外生產商。但近年來，隨著平板顯示、半導體、觸控等產業的快速發展，產業鏈進口替代浪潮呼聲越來越高，國內掩膜版廠商以此為契機發展迅速。

　　當前，國內規模型光罩廠主要以兩種形式存在，一是以中芯國際和華潤微為代表的半導體廠自建的光罩廠，二是以路維光電、清溢光電和中微掩模等為代表的獨立光罩廠。

　　例如，中芯國際曾在招股書中提到，公司擁有目前中國大陸最大、最先進的光掩模制造設施，可生產0.35微米到14納米各技術節點的光掩模產品;華潤微電子旗下負責掩模制造的企業無錫迪思微電子可為客戶提供Frame、IP Merge、OPC等專項服務，能生產二元光罩、移相光罩、灰階光罩等產品。

　　獨立光罩廠方面，清溢光電和路維光電的均已成功登陸A股市場;而中微掩模則可提供0.35～0.13μm，5英寸、6英寸二元光罩和6英寸相移光罩。

　　張汝京表示，光罩材料產業鏈項目旨在成為國內光罩上游材料龍頭，解決國內半導體材料“卡脖子”問題。