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硅光子重大突破!我國首次成功點亮硅基芯片內部激光光源

時間:2024-10-09

來源:21ic電子網

導語:10月7日消息,近日,湖北九峰山實驗室再次在硅光子集成領域取得里程碑式突破性進展。

  2024年9月,實驗室成功點亮集成到硅基芯片內部的激光光源,這也是該項技術在國內的首次成功實現。

  此項成果采用九峰山實驗室自研異質集成技術,經過復雜工藝過程,在8寸SOI晶圓內部完成了磷化銦激光器的工藝集成。

  該技術被業內稱為“芯片出光”,它使用傳輸性能更好的光信號替代電信號進行傳輸,是顛覆芯片間信號數據傳輸的重要手段,核心目的是解決當前芯間電信號已接近物理極限的問題。

  對數據中心、算力中心、CPU/GPU芯片、AI芯片等領域將起到革新性推動作用。

  基于硅基光電子集成的片上光互連,被認為是在后摩爾時代突破集成電路技術發展所面臨的功耗、帶寬和延時等瓶頸的理想方案。

  而業界目前對硅光全集成平臺的開發最難的挑戰在于對硅光芯片的“心臟”,即能高效率發光的硅基片上光源的開發和集成上。該技術是我國光電子領域在國際上僅剩不多的空白環節。

  九峰山實驗室硅光工藝團隊與合作伙伴協同攻關,在8寸硅光晶圓上異質鍵合III-V族激光器材料外延晶粒,再進行CMOS兼容性的片上器件制成工藝,成功解決了III-V材料結構設計與生長、材料與晶圓鍵合良率低,及異質集成晶圓片上圖形化與刻蝕控制等難點。經過近十年的追趕攻關,終成功點亮片內激光,實現“芯片出光”。

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